Warum Wolframtiegel für die Elektronenstrahlverdampfung wählen?

Die Elektronenstrahlverdampfung (E-Beam-Verdampfung) ist ein wichtiges Beschichtungsverfahren, das in der optischen Beschichtung, der Halbleiterfertigung und bei modernen Werkstoffen weit verbreitet ist. In einer Hochvakuumumgebung wird ein Elektronenstrahl aus einer Elektronenkanone auf das Zielmaterial fokussiert, wodurch dieses lokal schnell erhitzt, geschmolzen und verdampft wird. Die Dampfatome kondensieren auf der Substratoberfläche und bilden einen gleichmäßigen Dünnfilm.

Der Elektronenstrahl ist zwar die zentrale Energiequelle des gesamten Prozesses, der Tiegel ist jedoch die Schlüsselkomponente, die das verdampfte Material aufnimmt und stützt. Die Wahl des Tiegelmaterials beeinflusst direkt die Reinheit, Stabilität und Verdampfungseffizienz des Dünnfilms.

Wolfram besitzt einen extrem hohen Schmelzpunkt (3410 °C) und bleibt selbst bei extrem hohen Temperaturen formstabil. Es behält seine Strukturintegrität im Vakuum und bei hohen Temperaturen und reagiert nicht mit geschmolzenem Metall, wodurch eine Kontamination des Films verhindert wird. Daher ist es das bevorzugte Material für die Tiegelherstellung.

Auswahl einesWolframtiegelDie Elektronenstrahlverdampfung bietet folgende wesentliche Vorteile:

Höhere FilmreinheitDie Inertheit von Wolfram gewährleistet, dass der Verdampfungsprozess frei von chemischen Verunreinigungen ist und somit eine saubere Beschichtung entsteht.

Lange LebensdauerHohe Beständigkeit gegen Korrosion, Oxidation und Temperaturschocks ermöglicht wiederholten Einsatz.

Breites Spektrum an anwendbaren MaterialienGeeignet für verschiedene Metalle mit hohem Schmelzpunkt wie Titan (Ti), Chrom (Cr), Molybdän (Mo), Tantal (Ta), Gold (Au) und Silber (Ag).

Gute thermische Stabilität: Behält Form und Leistungsstabilität auch bei wiederholtem Erhitzen und Abkühlen bei.

Hohe VerdampfungseffizienzDie ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit gewährleistet eine gleichmäßigere Verdampfung und verbessert die Abscheidungsrate.

JinxinSeit 16 Jahren sind wir in der Hartmetallindustrie tätig. Die Wahl von Wolframtiegeln für Ihre Produktion ist eine kluge Entscheidung. Wenn Sie mehr über Wolframtiegel erfahren möchten, kontaktieren Sie uns gerne; wir beraten Sie gerne zu den passenden Produkten.